电子束和离子束加工.pptVIP

第九章 电子束和离子束加工 （4）离子注入 用5～500keV能量的离子束，直接轰击工件表面，由于离子能量相当大，可使离子钻进被加工工件材料表面层（注入的离子固熔在工件材料中，含量可达10%~40%，深度可达1微米），改变其表面层的化学成分，从而改变工件表面层的机械物理性能。 该方法不受温度及注入何种元素及粒量限制，可根据不同需求注入不同离子（如磷、氮、碳等）。 注入表面元素的均匀性好，纯度高，其注入的粒量及深度可控制，但设备费用大、成本高、生产率较低。 * 第二十九页，共三十八页。 3、特点 第九章 电子束和离子束加工 加工精度高。离子束加工是目前最精密、最微细的加工工艺。离子刻蚀：离子束轰击材料是逐层去除原子，离子束密度及离子能量可以精确控制，可以达到纳米级加工精度；离子镀膜可以控制在亚微米级精度；离子注入的深度和浓度也可以精确控制。 环境污染少。离子束加工在真空中进行，特别适宜于对易氧化的金属、合金和半导体材料进行加工。 加工质量高。离子束加工是靠离子轰击材料表面的原子来实现的，加工应力和变形极小，适宜于对各种材料和低刚件零件进行加工。 设备费用高、加工效率低 * 第三十页，共三十八页。 4 离子束加工装置 离子束加工设备 离子源 真空系统 控制系统 电源等 * 第三十一页，共三十八页。 离子束加工装置 考夫曼型离子源 * 第三十二页，共三十八页。