——静电敏感与执行原理教案.pptx

会计学;微传感器的概念; 微传感器是今天最广泛使用的MEMS器件，通常使用集成电路工业中发展起来的手段和技术来制造，比如微金属版印制技术、刻蚀技术等，也采用专门为微传感器制造开发的新技术。;微传感器的概念;微传感器的概念;线性度;（3）可使仪表刻度盘均匀刻度，因而制作、安装、调试容易，提高测量精度； （4）避免了非线性补偿环节。 实际上许多传感器的输出—输入特性是非线性的，如果不考虑迟滞和蠕变效应，一般用多项式表示输出—输入特性。 ;附例：;按传感机理分 压阻、压电、隧道、电容、谐振、热对流 按物理参数分 力（加速度/压力/声） 热（热电偶/热阻） 光（光电类） 电磁（磁强计） 化学和生物医学（血糖/电容化学/化学机械）;微执行器的概念; 自1982年静电微马达的研制成功至今，对微执行器的研究工作正在深入。设计执行器的要求是在动力源的驱动下能够完成需要的动作。因而，在涉及到运动的微型系统中执行器十分重要。;微机械执行器是组成微机电系统的要素之一。如，力学执行器是将电能或其它能量转换为机械能。 理想的执行器应该是使用很少的能源，具有很高的机械效率，对机械状态和环境条件适应性强，需要时能产生高速运动，具有高的能量-质量比，在控制信号与力、扭矩和速度之间呈线性比例关系。 ; 与传统执行器相比，微执行器的特点有 微系统加速快、速度高； 仅需极小的驱动力； 随元器件尺寸的微型化、热膨胀、振动等环境干扰因素小。;微致动器的分类;静电传感器与执行器概述;静电执行器的基本工作原理：两个带异性电荷的电极板之间具有吸引力。 从库仑定律 平板电容器 极板间作用力;静电敏感与执行的主要优点;平行板电容器; 右图为简单平板电容器，两块板的交叠面积为A，间距为d,两板之间的相对介电常数表示为 ，介电常数为 ，这里 是真空介电常数。;电容器可以用作产生力或位移的执行器（如果至少有一个电容器平板是悬吊或可变形的）。来看一对平板电极，其中一个平板紧紧固定，另一块平板由机械弹簧悬吊，当两个平行板之间施加电压时就会产生静电吸引力，力的大小等于所存储的电能U相对于几何变量的梯度，力的表达式为： 这里x是相关的空间变量。如果平板沿着其法向运动，电机的间距就会发生变化，用d代替上式，力的大小可以改写为： 在恒定偏置电压的作用下，静电力的大小随着间隙d的增加迅速减小。静电力可以认为是种短程力，当间隙在几个微米量级时最为有效。;例3.1 由两块固定平行板构成的气隙电容器，静止（零偏）时，两平行板之间的距离为 ， 平板面积A=400um×400um,两平板间的介质为空气，偏置电压U=5V,试计算电容与引力（F）的大小。如果平板一半面积区域的间隙充满水（作为极板介质）电容值又是多少？;如果平板一半面积区域的间隙为水，另一半为空气，可以堆两部分分别进行考虑。总电容由两个并联在一起的电容器组成，水在室温时的相对介电常数为76.6，与水介质有关的电容为：;平行板电容---偏压作用下静电执行器的平衡位置;下图中的两条曲线，分别代表机械回复力与静电力随电极位置的变化。对于恒定的偏置电压U,机械回复力(Fmechanical )随着极板位置线性变化，静电力(Felectric)随着极板位置非线性变化。;电压增加时，静电力曲线族上移，平衡位置离静止位置越远。;平行板电容器---平行板执行器的吸合(pull-in)效应;a.平行板电容式微加速度计 ;一种最早的全集成电容加速度传感器是用表面为机械加工工艺与集成MOS探测电路制作在一个晶片上的，这种传感器由覆盖金属的氧化物悬臂梁构成，在悬臂梁的末端有0.35ug重的电镀金片作为质量块，另一个电极由重掺杂P型硅制成。电容间隙（ ）由生长在硅表面的外延硅层所确定。;传感器的响应按照军事和汽车技术标准在较大温度范围内（-55℃～125℃）进行校准。在这一温度范围内的漂移在 以内。因此，电容敏感相对于其他敏感模式（如压阻）具有优势，因为它的温度敏感性相对较低。;b. 惯性传感器——扭转平行板电容加速度计 ;平行板电容器的应用---压力传感器;微型麦克风 ;; 流量传感器广义上用于测量点流体速度、体积流动速度、侧壁的剪切应力以及压力的器件。流量传感器具有以下的一些优点： 1）体积小，对所测流场的干扰小； 2）由于柔性机械单元或电路集成，因此灵敏度高； 3）有实现大阵列传感器一致性的潜力。;平行板电容器的另一种应用是触觉传感器，它是机器人技术应用中的关键元件。要精确测量触觉信息，传感器必须有高的集成密度、高的灵敏度、以及多轴敏感的能力。;叉指电容器;静电梳齿驱动;静电梳齿驱动;静电梳齿驱动;静电梳齿驱动存