大气压微波等离子体射流装置放电特性研究.docx

大气压等离子体射流(APPJ)是一项重要的等离子体放电技术，其独特的结构使其能够在开放空间中产生宏观温度低、化学活性高的非平衡低温等离子体，在材料表面处理、生物医学应用等方面具有广阔的应用前景，近年来掀起了对等离子体射流的研究热潮[1-3]。当前已开发出了多种等离子体放电技术，包括直流、电晕、射频、介质阻挡、电感耦合、微波等[4]。相较于其他驱动产生等离子体的方式，微波等离子体具有电子密度高、电离度高和可控性强等优势[5]，因此，微波激发等离子体射流更能在实际应用中凸显优势，具有重要的研究意义与价值。 当前国内外已有关于微波等离子体射流装置研究的报道。韩国Lee等人[6-7]采用侧馈入微波源的