《薄膜物理与技术》教学大纲.docVIP

PAGE 2 《薄膜物理与技术》教学大纲 课程英文名 Film physics and technology 课程代码 F0712Z48 学分 2 总学时 32 理论学时 32 实验/实践学时 0 课程类别 专业课 课程性质 选修 先修课程 《固体物理》《集成电路工艺原理》 适用专业 微电子工程 开课学院 光学与电子科技学院 一、课程地位与课程目标 （一）课程地位 薄膜物理与技术是微电子学与工程的专业课，主要讲授薄膜生长的基本理论、方法和应用，为后续学习光刻与刻蚀、离子注入、半导体材料和从事微电子研究打下坚实的基础。 （二）课程目标 1、具有人文社会科学素养、社会责任感，能够在工程实践中理解并遵守工程职业道德和规范，履行责任。 2、能够在多学科背景下的团队中承担个体、团队成员以及负责人的角色。 10、能够与业界同行及社会公众进行有效沟通和交流，并具备一定的国际视野，能够在跨文化背景下进行沟通和交流。 3、理解并掌握微电子行业工程管理原理与经济决策方法，并能在多学科环境中应用。 4、具有自主学习和终身学习的意识，有不断学习和适应发展的能力，能及时了解微电子领域最新理论、技术及国际前沿动态。 二、课程目标达成的途径与方法 本课程采用小班化教学模式，理论教学、实验教学和翻转课堂、专题讨论相结合；采用板书、多媒体教学和微课录像等多种教学手段，引入计算机辅助教学，布置实验作业或大型综合