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半导体工厂大宗气体系统的设计搞要
半导体工厂大宗气体系统的设计搞要
本文对集成电路芯片厂中的大宗气体系统的设计过程作了概括性的描述,对当前气体设计技术 及其发展方向作了探讨,同时结合自己对多个FAB
本文对集成电路芯片厂中的大宗气体系统的设计过程作了概括性的描述,对当前气体设计技术 及其发展方向作了探讨,同时结合自己对多个FAB 厂房的设计经验提出了设计中值得注意的问题和解决方案。This paper introduces a general design process for Bulk Gas System in FAB。Current gas design technology a
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