扫描电子显微镜与电子探针.pptxVIP

会计学;与普通显微镜的差别：;学习的重要性： ▲ 是形貌分析的重要手段 ▲ 二次电子象在其它分析仪器中的应用 ▲ 基本物理概念、仪器参数及基本单元的通用性 ;二、基本物理概念 (一) 电子与表面相互作用及与之相关的分析技术 (二) 信息深度 (三) 电子作为探束的分析技术特点 ;(一)电子与表面相互作用及与之相关的分析技术 1．信息种类及相应的分析技术： △ 背散射：经弹性散射或一次非弹性散射后 以θ 90°射出表面， E～Ep △ 特征能量损失 △ 多次散射后射出－形成本底 △ 在样品中停止，变为吸收电流 △ 从样品透射 (TEM); △ 二次电子：外层价电子激发 (SEM) △ 俄歇电子：内层电子激发 (AES) △ 特征X射线：内层电子激发 (EPMA) △ 连续X射线：轫致辐射(本底） 对于半导体材料： △ 阴极荧光 △ 电子束感生电流 ;2．检测电子的能量分布;(二) 信息深度 △ 非弹性散射平均自由程： 具有一定能量的电子连续发生两次非弹性碰撞 之间所经过的距离的