圆度误差的纳米测量技术.docVIP

圆度偏差的纳米丈量技术(精) 圆度偏差的纳米丈量技术(精) PAGE / NUMPAGES 圆度偏差的纳米丈量技术(精) 圆度 偏差的纳米丈量技术 中国物质储运郑州企业计量中心 械科学研究院 张敬彩 红  胡谦 摇机械工业部机 摇佛山职业技术学院 王 摇西北工业大学 曹麟祥 一、前言 跟着科学技术的发展，纳米丈量技术在尖端产品和现代化武 器制造中拥有特别重要的地位。 比如，静电悬浮化陀螺需要 10nm 或更精准的转子。为了丈量这样精细部件的形状，就一定打破 圆度仪主轴系统偏差的限制，为此能够采纳偏差分别技术，即在丈量结果中将主轴系统偏差与部件 圆度偏差分别开来，进而剔除前者，进一步减小 圆度仪的丈量不确立度。 圆度仪的构造有转台式和转轴式两种，如图 a、b 所示。 图 a 转台式圆度仪 图 b转轴式圆度仪 被测部件； 2. 电感测微仪； 3. 被测部件； 4. 电感测微仪； 5. 记录器； 记录器。 本文提出的 “两步法 ”偏差分别技术仅用一个传感和部件的一 次转位，便能分别开主轴的系统偏差和部件的 圆度偏差。 “两步 法”与“三传感器法 ”对比，能节俭两个传感器，并能防止多个传 感器性能不一致而带来的偏差； 与“多步法 ”对比，它不需要多次 转位，而只要要一次转位，并能分别获得主轴和部件的全谐波 偏差；与 “反向法 ”对比 (反向法仅能丈量主轴的径向偏差 )，两步法还可以丈量其