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一种外延炉反应腔的自动清洗装置.pdfVIP

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  • 2022-11-28 发布于四川
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一种外延炉反应腔的自动清洗装置.pdf

    本实用新型涉及外延炉技术领域，具体公开了一种外延炉反应腔的自动清洗装置，该装置包括反应室组件，所述反应室组件内设有水平延伸设置的反应腔，所述反应腔与导气组件一端连通，所述导气组件另一端通过切换阀或电磁阀与供气组件及远程等离子体发生装置连接，所述远程等离子体发生装置连接有清洗气体供应器；该装置通过切换阀或电磁阀将远程等离子体发生装置连接在导气组件上，使得外延炉在外延反应结束后，能通过切换阀或电磁阀快速地打通远程等离子体发生装置与反应腔的连接关系，并通过远程等离子体发生装置送入等离子体以对导气组件和

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 217895795 U (45)授权公告日 2022.11.25 (21)申请号 202221934807.9 (22)申请日 2022.07.25 (73)专利权人 季华恒一（佛山）半导体科技有限

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