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优化光谱扫描 光谱学是研究物质和光之间的相互作用（吸收和发射），作为辐射波长或频率的函数。它涉及将光分成特定的波长（光谱），其方式类似于棱镜将光分成不同的颜色。 光和物质之间这种相互作用的测量被称为光谱法。基本上，光谱法是一种研究和测量特定光谱的方法，广泛用于材料，化学品和气体的分析 Nanomotion设计和制造各种标准和OEM模块，以满足广泛的应用要求，以优化光谱仪的性能。根据要求，模块配置为地面固定光谱仪、手持便携式光谱仪，甚至用于对抗设备和机载分析的飞行额定设备。 傅里叶变换（FTIR）光谱仪的核心是迈克尔逊干涉仪，它要求精确扫描镜子以收集宽光谱范围内的高分辨率光谱数据。 这些反射镜必须以精确的速度控制和低角度误差移动，以使光谱测量准确。 Nanomotion的电机和小型FB平台在满足迈克尔逊干涉光谱法所需的运动性能方面表现出色。速度范围从0.03毫米/秒到30毫米/秒速度均匀性达 0.25%角度精度达 10μrad，行程 10mm工作温度范围为 -10°C 至 +50°C 手持式光谱仪的OEM设计由Nanomotion的小型模块支持，基于我们的EdgeEdge-4X电机。设计为小型、轻质节能解决方案的模块可以满足最苛刻的要求。 基于迈克尔逊干涉仪的光谱仪的替代方案是法布里-珀罗干涉仪。法布里-珀罗干涉仪基于一对部分镀银的玻璃光学平面，通常间隔几毫米。该原理依赖于当光线照射通过由两个反射平行表面束缚的空腔时产生的多光束干涉现象。当光线遇到其中一个表面时，一部分光被透射出去，一部分被反射回来。压电驱动弯曲用于保持平行度. 这对光学平面与一个小的行程弯曲组件对齐，配置为带有（3）个压电轴的三脚架。每个轴都有一个电容式传感器，用于反馈和高达50μm的行程 开腔的直径范围。这里显示的是18mm高，具有~20mm的腔体，能够工作到1kHz以进行快速扫描。 纳动为广泛的光谱学应用提供运动解决方案，包括拉曼、质谱、高光谱、光学等。提供恒定速度和低角度误差的能力是新一代更小、更精确的光谱仪的实现能力。 尊重一纳米 达到所需的性能水平必须从有条不紊和系统设计的角度出发。它不仅仅是提高位置反馈分辨率的功能，而是考虑每个组件（例如材料，轴承和电机）的影响。这还需要对热和振动影响进行彻底分析，同时考虑到操作环境。 利用系统设计方法，考虑到所有组件和环境因素，Nanomotion在其压电电机和控制中开发并部署了多种操作模式，以促进满足下一代要求。 超精密XY真空台 行程至500mm 速度可达100毫米/秒 位置分辨率达 0.1nm 10 小时内 1nm 的位置稳定性 在单个电机或轴中，Nanomotion提供速度高达500mm/sec的长行程和亚纳米级定位。除了这些模式之外，补偿热漂移和主动振动抑制的能力允许单一驱动技术从运动角度缩小技术差距。 Nanomotion的PS平台采用了新的SE电机，该电机提供了显着更高的刚度和效率，并展示了满足这些应用要求的1nm以下性能。该载物台可以支持低于0.1nm（低至32pm）的编码器分辨率，并提供结构完整性以满足稳定的性能。 如下所示 – 位置稳定性超过 60 秒，下午 ±200 以内 Nanomotion在各种系统设计中展示了实现1nm定位的能力。利用单个压电电机在长行程上驱动轴的能力，以及在纳米范围内停止和操纵的能力以及1nm稳定性数小时，是下一代精密机器的使能技术。 尊重一纳米 行业新闻 与计算、数据处理和社交媒体相关的全球业务驱动因素继续将半导体制造要求推向前所未有的水平。世界各地的个别制造商和技术联盟正在努力开发具有生产下一代芯片所需的精度水平的制造系统。 在绘制实现下一代性能所需的技术差距时，存在各种挑战。具体到运动控制，在单纳米水平上产生结构稳定性和位置稳定性所需的精度已被确定为主要要求。材料计量必须通过提高工艺速度和精度来缩小差距，同时保持位置稳定性。例如，预计今天100nm级别的成像分辨率将与1nm位置稳定性一起移动到1nm。 现在，运动控制制造商必须尊重一纳米。 产品新闻 达到所需的性能水平必须从有条不紊和系统设计的角度出发。它不仅仅是提高位置反馈分辨率的功能，而是考虑每个组件（例如材料，轴承和电机）的影响。这还需要对热和振动影响进行彻底分析，同时考虑到操作环境。 行程至500mm 速度可达100毫米/秒 位置分辨率达 0.1nm 10 小时内 1nm 的位置稳定性 利用系统设计方法，考虑到所有组件和环境因素，Nanomotion在其压电电机和控制中开发并部署了多种操作模式，以促进满足下一代要求。 在单个电机或轴中，Nanomotion提供速度高达200mm/sec的长行程和亚纳米级定位。除了这些模式之外，补偿热漂移和主动振动抑制的能力允许单一驱动技术从运动角度缩小技术差距。 该图的反