上银直线电机FAQ20221129.docxVIP

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— — PAGE 1 — 上银直线电机FAQ 为何要使用线性马达,与滚珠螺杆比起来有何差异? 直线电机采用直接驱动的方式,可以减少定位系统的零件数目,降低机构复杂度,提高可靠度。 首线电机的速度比滚珠螺杆快,而且当行程越长的时候,直线电机越有利,因为直线电机的定子采用模块式设计,可以无限连接模块,所以基本上行程不受限制。 滚珠螺杆行程长则会有下垂的问题。直线电机因为直接驱动所以没有背隙的问题。 哪种形式较适合我的应用呢? 大推力,点对点运动,基本上推荐LMSA系列,要更大推力,则可以选用LMFA系列;但是机构空间会需求比较多。 零件重量轻,需要特别平滑的扫描运动,电子业、半导体业可以使用LMC系列,体积小,加减速高。当然点对点运动也是绝对没有问题的。 我们提供上述不同型式的标准化的定位平台,如果您对于单独的线性马达组件、动子、定子已经有应用经验,我们也可以单出组件;我们也会提供组装的注意事项。光学尺搭配的方式及机构的设计建议供您参考。 对于特殊应用∶我们也可以提供例如本气轴承的特制平台,达到奈米级的定位控制。 直线度大约多少呢? 以铝材质基座为例,每300mm正负0.01mm。 垂直度可达多少呢? 正负5arcsec。 精度呢? 一般而言精度是依行程不同而不同,随着行程加大而变大,基本上可以按照下述公式计算∶(30/1000)x STROKE(mm)+5 MICRON。 虽然精度会随着长度变长而变大,但是如果可以利用温控让精度延着行程的变化不发生很大的变动,一般而言可以利用补偿的方式来进一步提升精度·我们也可以提供这方面的方法供客户自行参考以加强精度性能。 重现精度呢? 一般大约可以在正负1micron以内。 分辨率多少? 可以搭配各种位置回馈系统,1micron的数字式光学尺最为普通。当然也可以选择例如0.1micron的数字光学尺,但要注意远动控制卡是否可以支持高速运动。如果想兼顾高解析和高速度运动的话,可以选择模拟式的弦波光学尺。 以40micron的模拟尺而言,搭配适当的驱动器或控制器解析到数十个奈米都没有问题。 有谁在使用? 点胶机、雷射LCD修补机、雷射切割机、水刀应用、TFT面板检测机、PCB雷射检测、蛇腹寿命测试机、PCB板光学检测机、PCB钻孔机、安全带加速度测试机、晶圆搬送手臂、光罩检查设备、LCD裸片检查机、CCD镜头上件机。 实际已经使用在台湾、日本、韩国、中国、德国、奥地利、瑞士、泰国等国家。 速度最快多快最慢多慢? 高速运动除了受行程的影响之外,负载、马达推力所造成的加减速都是尖键。实际上以测试过的经验来讲,最快跑到4m/s并没有问题。但是必须考虑滑轨,跑线槽等外围的搭配。 低速运动基本上并没有特殊限制,只要运动控制器可以支持,基本上每秒要跑数个微米都应该没有问题。 速度稳定性如何? 通常会要求速度稳定性的应用会以速度涟波来衡量好坏;这个性能主要依存于马达本身的特性,例如顿力,还有滑劫以及缆线还有跑线槽的特性。 LMC系列的马达特别适合于这样的需求。 以线性滑轨组成的LMC平台而言,在速度100-400mm/s之下,一般可以达到1.5%以内。 如果需要更好的稳定性,则必须采用LMC搭配空气轴承;在60-150mm/s的速度下,可以达到1%以内· 线性马达在控制上与旋转型的AC伺服马达有什么不同? 基本上控制的方式大同小异,例如采用脉波控制的话,运动控制卡依然是送脉波到驱动器去;此外如果是速度模式或电流模式(或称转矩或力量模式)也一样由运动控制器送出电压到驱动器, 不同的是,控制线性马达时;不须再有繁复的转换计算;减速比等计算,只要直接以运动方向的距离来思考,计算即可,设定也是直接用运动方向的加速度及速度即可。 发热问题? 任何马达曾有发热问题伴随,在设计时间就要考虑这个问题,发热主要来自加减速度,如果加减速度所需的电流都维持在马达及驱动器的连续电流之下,则不会有严重的发热问题。 如果在加减速的过程中,有短暂的打大电流的需求,则必须在作运动规划的阶段就考虑等效推力,视实际需求,加入暂停运动的时间。 另外如果马达持续推挤工作物的电流大于上述的连续电流,也要注意过热问题。 一般而言,LMSA马达的构造有利于散热,而LMC马达的线圈比较没有足够的散热空间,所以在设计运动系统时,必须考虑马达结构的散热特性。 可以加水冷吗? LMSC、LMFA型马达可以加。有关热的设计,请提供负载,运动速度,加速度,休息时间等资料给我们,我们可以提供更详细的计算,以完成最佳的系统设计。 真空中可以使用吗? 我们的LMC系列马达具有实际搭配真空舱达2.4×10-5 Tort的实绩;并经过客户实际cycle run 24小时以上的测试,因为使用的材质特殊,有需求请与我们联络。 洁净室可以使用吗?使用的环境如何? 一般而

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