光学薄膜激光损伤阈值测试系统及其方法与设计方案.pdfVIP

本技术涉及一种光学薄膜激光损伤阈值测试方法，包括如下步骤：S1、测试得到光学薄膜单脉冲激光损 伤时的激光能量密度Fth ；S2、使单脉冲激光对光学薄膜进行辐照，记录下光学薄膜表面激光损伤边界不 再增大时的激光损伤区域边界坐标(xi,yi) ，同时记录下单脉冲激光辐照的次数n ；S3、将激光能量密度的 高斯分布与激光损伤区域分布对照，得到光学薄膜多脉冲激光辐照损伤时的激光损伤阈值FN ；S4、不断 改变入射的激光能量密度，重复执行步骤S2、S3 ，得到不同脉冲数目的飞秒激光辐照下光学薄膜的激光 损伤阈值曲线。有益效果是不仅仅保证多脉冲激光辐照下光学薄膜激光损伤阈值测量准确性、同时大大 提高多脉冲辐照下光学薄膜损伤阈值的测试效率。 技术要求 1.一种光学薄膜激光损伤阈值测试系统，其特征在于：所述测试系统包括飞秒激光器(1)、两个反射镜 (2)、能量衰减系统(3)、机械快门(4)、聚焦透镜(5)、楔形片(6)、光束质量分析仪(7)、能量计(8)、供光学 薄膜(9)放置的二维移动平台(10)、CCD相机(11)和电脑(12) ，所述电脑(12)设有数据输出卡(13)和运动控 制卡(14) ；所述飞秒激光器(1)连接至数据输出卡(13) ，所述二维移动平台(10)连接至运动控制卡(14) ，所 述光束质量分析仪(7)、能量计(8)、CCD相机(11)连接至电脑(12