机电系统设计与分析.docxVIP

机电系统在航天领域的应用 我们都知道火箭都有推力和体积限制，这就要求我们在所以的机械机构设计中都要求在满足使用要求的条件下，尽量小型化，微型化和轻量化，因此微型机电系统在航天领域得到充分发展和使用。微机电系统是指微型的器件或器件组合，是一个把电子功能与机械和光学或其他功能相结合的综合集成系统。MEMS 主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术，并应用微电子技术和最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。MEMS 是微电子技术的拓宽和延伸，它将微电子技术和精密机械加工技术相互融合，实现了微电子与机械融为一体的系统。MEMS 在不同的国家其名称也