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Veeco(SSEC) Model 2400E平行封焊作业指导书.pdf

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目录:设备功能、设备原理、设备组成、操作流程、软件操作、焊接检查、焊接电源与参数、手套箱操作、维护与保养、异常处置

Veeco(SSEC)Model2400E 一、设备功能 1. 功能:主要进行平行缝焊,完成 (金属、陶瓷)管壳、盖板间的焊接密封。 2. 性能:支持焊接产品尺寸3.2-203mm,马达精度X-15um、Y-5um,电极由独立马达控 制,可实现多产品加工;电极高度、压力实时自动控制。 3. 应用:主要用于器件的惰性气体气密性封装,广泛应用于高性能MEMS传感器、光电 器件与集成电路的管壳气密性封装。 二、设备原理 平行缝焊是一种电阻焊,主要用于半导体制造过程中,把单个或多个半导体器件芯片

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