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一种用于化学气相沉积法生产石墨烯的石墨加热器.pdfVIP

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  • 2023-01-14 发布于四川
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一种用于化学气相沉积法生产石墨烯的石墨加热器.pdf

    本实用新型公开了一种用于化学气相沉积法生产石墨烯的石墨加热器，包括与气相沉积炉的水冷铜电极连接的石墨电极和发热组件，所述发热组件包括电方和发热棒，所述发热棒为圆柱状且中间粗两端细，发热棒的两端通过电方固定，发热棒与电方之间为可拆卸连接，所述电方的侧壁上连接有石墨电极。通过变径的发热棒实现了对加热温度的调节，使得发热棒两端加热高度中间加热温度，从而确保了真空化学气相沉积炉内石墨烯薄膜生长区的温度均匀性，从而保证了化学气相沉积工艺的稳定性，提高了石墨烯薄膜的品质；另外，各部件之间可拆卸连接，拆装方便

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218277169 U (45)授权公告日 2023.01.10 (21)申请号 202222428321.4 H05B 3/42 (2006.01)

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