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半导体科学与技术稿件-微光刻纳米加工.pdfVIP

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  • 2023-01-18 发布于北京
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半导体科学与技术稿件-微光刻纳米加工.pdf

    《半导体科学与技术》第九章“微光刻与微纳米加工技术”，何杰，夏建白主编，作者 刘明，陈宝钦（执笔），2007.096. ，科学 。 （稿件原稿，供参考，中国 微电子 陈宝钦） 《半导体科学技术展望》 本书的目的： 1、为科研管理部门提供学科发展 的参考，为科学规划的制定提供依据。 2、促进半导体科学与其他学科的交叉，为其他领域的科技工作者涉足半导体科学领域

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