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常用模拟式运动和位置检测传感器机电一体化技术 常用模拟式运动和位置检测传感器 1.电位器式传感器电位器式传感器是一种将位移（旋转角度或直线位移）转换成与之成线性或任意函数关系的电阻或电压输出的传感器。如图2-5所示，当电位器的滑动臂移动时，将会引起滑动臂和任意一个固定端的电阻变化，如果在两个固定端加上一定电压，位移的变化将会转换为电压的变化。图2-5 电位器式传感器 1.1 电感传感器1.自感型电感式传感器自感型电感式传感器分为可变磁阻式传感器和涡电流式传感器。1）可变磁阻式传感器可变磁阻式传感器是由铁芯、衔铁和线圈构成的，其原理如图2-6所示。其输出电感量为图2-6 可变磁阻式传感器 1.1 电感传感器2）涡电流式传感器涡电流式传感器是基于金属导体在交变磁场中的涡电流效应的传感器。该类型传感器具有结构简单、响应快、灵敏度高等特点，但其仅限于测量具有金属表面的物体。如图2-7所示，给线圈通入交变电流i1，则在其周围产生交变磁场H1，在H1的作用下，靠近线圈的金属导体中产生了涡电流i2，i2在导体中自行闭合，进一步产生交变磁场H2，H2的方向和H1相反并且抵抗H1，从而使线圈中的阻抗发生了变化，进而影响了i1，通过对i1的变化进行检测，便可检测金属导体的位移大小或金属存在与否。图2-7 涡电流效应原理 1.1 电感传感器2.互感型电感式传感器互感型电感式传感器也称为差动变压器式传感器，其原理类似于变压器的原理。如图2-8所示，当初级线圈N1中的交变电动势为e1时，则在次级线圈N2中产生交变电动势e2，e2的大小取决于两个线圈的相对位置和介质的导磁能力。当移动铁芯时，感应电动势将随着铁芯位置的变化而发生变化。图2-8 互感型电感式传感器 1.1 电感传感器在实际应用中，为了提高传感器的线性度，常采用两个完全相同的次级线圈，并且将次级线圈反极性串联，其形式为螺管式，所以也称为螺管式差动变压器式传感器。如图2-9所示，当铁芯在平衡位置时，两个次级线圈产生的电压大小相等，输出为零，而当铁芯沿着x方向运动时，输出电压uo=e1－e2，这样不仅可以知道位移的大小，并且能够反映位移的方向。图2-9 螺管式差动变压器式传感器原理 1.2 电容式传感器 电容式传感器是将被测量的位移等转换为电容量变化的一种传感器。它也就是一种非接触测量装置。最常见的电容形式是由两个平行电极板组成的，极板间充满了电介质。 电容量C的大小与电容电极面积A、电极间的间距δ和介质的相对介电常数εr有关，其关系式为 1.2 电容式传感器 1.变面积型电容式传感器 变面积型电容传感器通过电容极板面积A的变化来测量直线位移和角位移。如图2-10（a），当可移动极板沿x方向移动一定位移时，输出的电容量为 如图2-10（b）所示可以看出，变面积型电容式传感器输出电容量随着输入位移的变化而呈现出线性变化，通过对电容量的测量就可以得知位移x的数值。图2-10 平面线性变面积型电容式传感器 1.2 电容式传感器 如图2-11所示为角位移变面积型电容式传感器和圆柱体直线位移变面积型电容式传感器，对于角位移变面积型电容式传感器，其输出电容量为 对于圆柱体直线位移变面积型电容式传感器，其电容量为图2-11 变面积型电容式传感器 1.2 电容式传感器 2.变极距型电容式传感器 当两极板覆盖面积A和介质不变时，则电容量C和极距δ呈现出反比的变化关系。设极距变化为Δδ ，则电容量的变化为当Δδ很小时， ΔC近似为 1.2 电容式传感器 实际应用中，为了提高灵敏度，降低非线性及抗干扰等因素的影响，采用差动电容式传感器。如图2-12所示，当动极板移动Δx时，电容C1容量降低，而C2容量升高，容量变化为2ΔC，从而使灵敏度提高一倍，非线性误差减小。图2-12 差动电容式传感器 1.2 电容式传感器 3.变介质型电容式传感器变介质型电容式传感器是将电容的两个极板相对固定不动，而改变其间介质的一种电容式传感器。如图2-13所示，设极距为δ，极板长度为l，极板宽度为b，在介电常数为ε1和ε2的介质中移动，则有图2-13 变介质型电容式传感器 1.3 感应同步器感应同步器是应用电磁感应原理将角位移或直线位移信号变换为交流电压的位移传感器，又称为旋转变压器。它有圆盘式和直线式两种，圆盘式感应同步器用来检测角位移信号，而直线式感应同步器用来检测直线位移信号。如图2-14所示为直线式感应同步器的结构。图2-14 直线式感应同步器的结构 1.3 感应同步器如图2-15所示为直线式感应同步器原理。滑尺相对于定尺移动一个节距2τ时，感应电动势刚好变化为一个周期2π，设移动的距离为x，输入滑尺的激励电压为 则感应电动势为