光学计示值误差的测量不确定度.docxVIP

xxxx作业指导书 测量不确定度评定 Xxxx光学计示值误差 光学计示值误差的测量不确定度 1测量方法(依据JJG45-1999光学计检定规程)用三等量块以“配对法”对1um光学计的示值误差进行检定。不确定度来源有: 配对量块的标准不确定度对线不准估读不准读数示值变对测力变化2数学模型以“配对法”检定1um光学计的示值误差的计算公式为： △=吉TE—气)⑴i式中：r.——用量块检定每一受检点时光学计上读得的数值(um)Ln——检定时所用最后一块量块的实际尺寸(um)L1——检定时第一对用于对零量块的实际尺寸(um)n——每一受检点所用的量块的块数3方差和灵敏系数依2=Z]j?L[u2(x)(2)i (3)得： (3) u2(y)=u2(A)=c2u2(L)+c2u2(L)+乙c2u2(r)c1式中：dA6A瓦8A由于每次配对测量的不确定度来源相同，可认为: 式中： dA u2(r)=u2(r)==u2(r)=u2(r)i2n-10设任意一对量块测量时，％的标准不确定度为u(r.),则: u2(r)=》c2u2(r)i=1/n-Iu2(r)0 得u2(y)=u2(A)=c2u2(L)+c2u2(L)+u2(r)(4)c1n214标准不确定度分量的评定4.1量块Ln的标准不确定度u(Ln)三等量块中心长度的扩展不确定为0.10um,置信概率为99%，自由度v1=29,k=2.76，则: u(L)=0.10/2.76=0.036um4.2量块L1的标准不确定度u(L1)三等量块中心长度的扩展不确定为0.10um,置信概率为99%，自由度v2=29,k=2.76，则： u(L1)=0.10/2.76=0.036um4.3测量读数r.的标准不确定度u(r) 4.3.1对线不准引起的标准不确定度u1(r0)对线误差是由刻线宽度决定的，一般不会超过刻线宽度的三分之一。立式光学计的刻线宽度为0.015mm=15um,放大80倍，对线误差为±15/(80x3)=±0.062um。该量在半宽区间内为三角分布，相对不确定度为20%，则I=(1/2)x(20/100)-2=12u1(r)=0.062/时6=0.025^m4.3.2估读误差引起的标准不确定度u2(r0)估读误差一般不会超过分度值的十分之一。1um立式光学计的估读误差为±0.1um，其相对不确定度为20%，在半宽为0.1um范围内为均匀分布，则七2=(1/2)x(20/100)-2=12u2(r)=0.1/捐=0.058pm4.3.3由测量重复性估算的标准不确定度为u3(r0)示值变动性是在重复性条件下，进行9次测量，计算9次测量结果中的最大值与最小值之差(极差)。因些，单次测量的标准差为s=R/C，极差R=0.1um，查表得系数C=2.97测： v=6.8u3(r0)=0.1/2.97=0.034rm4.3.4测力变化引起的标准不确定度u4(r0)检定时测力的变化引起配对量块的压陷量不同使测量读数带来误差，该量估计为0.013um，作均匀分布处理，相对不确定度为20%，则： V34=(1/2)x(20/100)-2=12u2(r)=0.013/痢=0.008Rm计算以上4项的合成u(r)u2(r)=u2(r)+u2(r)+u2(r)+u2(r=0.0252+0.0582+0.0342+0.008 =0.005209rm2u(r)=0.072rmv(r)= v(r)= 0.0724 0.0254 12 0.05840.03440.0084 +++ 126.812 =23 5标准不确定度分量一览表（表1和表2）表1标准不确定度分量一览表（检定土30um,±60um点） 标准不确定分量u（x.） 不确定度来源 标准不确定度（um） 循 c= idx i cu(x) (um) 自由度 U( 标准量块 0.036 1/(4-1) 0.012 29 U(L1) 标准量块 0.036 1/(4-1) 0.012 29 u(r)u1(r0)U2(r。)U3(r0)U4(r0) 测量读数不 准 对线误差 估读误差 示值变动性 测力变化 0.072 0.025 0.058 0.034 0.008 1/J(4-1) 0.042 23 12 12 6.8 12 u(y)=0.045rmv.=30 表2标准不确定度分量一览表（检定±90um点） 标准不确定分量u（x.） 不确定度来源 标准不确定度（um） c工 idx i cu(x) (um) 自由度 U( 标准量块 0.036 1/(3-1) 0.018 29 U(L1) 标准量块 0.036 1/(3-1) 0.018 29 u(r) u1(r0) U2(r0) U3(r0) U4(r0) 测量读数不 准 对线误差 估读误差 示值变动