光学薄膜技术-全套PPT课件.pptxVIP

西安工业大学 ; ★什么是光学薄膜 ★光学薄膜的发展历史 ★光学薄膜的应用 ;光学薄膜是指控制光束行为的薄膜。 光学薄膜技术是光学技术的一个重要分支，它包括薄膜光学及薄膜制备技术，前者研究光在分层媒质中的传播规律，后者研究光学薄膜的各种制备技术。 在今天，光学薄膜技术已经成为现代光学技术中不可缺少的一个重要组成部分。没有任何一个光学系统里不使用光学薄膜。 ;什么是光学薄膜？ ;Why thin and not thick films?; 2. Developmental History of optical thin films;5/. Diffusion pump made it possible for thin film process in 1930. 6/. Geffeken produced the first thin film metal- dielectric interference filter by PVD(1951). 7/. The first He-Ne laser was developed in Bell Tel. Lab. In 1960,which was because of the low loss high reflectors. 8/. The columnar structure of thin film was discovered in 1970 by Pearson(皮尔逊). 9/. Thin film filters used for optical communication was made significant progress in around 2000.; 光学薄膜可分成两大部分： 第一部分是光学干涉薄膜 第二部分是光学波导薄膜及其相应器件 前者的特点是光横穿过薄膜而进行传播；后者的特征是光沿着平行薄膜界面的方向在膜内传播，对于光学薄膜，在一块基片上沉积五、六十层膜并非罕见，涂镀工艺是比较成熟的；而对光学波导，则膜层层数一般不多，通常仅用一层膜，其镀制工艺仍处在发展初期。本课程讲的是第一种情况。 ; 3. Applications;光学薄膜种类: 1.减反射膜 Antireflection coatings 2.高反射膜 High-reflectance coatings 3.中性分束膜 Neutral beam splitters 4.截止滤光片 Edge filters 5.带通滤光片 Band-pass filters 6.偏振分光膜 Polarizing beam splitters 7.相位膜 Phase coatings ;光学薄膜在光学系统中的作用： ;与镀膜技术密切相关的产业;绪论 第一章：薄膜光学特性计算基础 第二章：介质膜系及其应用 第三章: 光学薄膜制备技术 第四章：光学薄膜制备工艺 第五章: 薄膜材料及其性质 第六章：光学薄膜特性测试;;课程目的：;课程特点： ; 主要参考文献 H. A. Macleod, Thin-Film Optical Filters , Bristol Philadelphia, 2001 2.麦克劳德，光学薄膜从设计到制造，2003，（讲座报告） 3.唐晋发，顾培夫，刘旭，等，现代光学薄膜技术，浙江大学出版社, 2006 4. 唐晋发，郑权，应用薄膜光学，科学技术出版社，1986 5. 唐晋发，顾培夫，薄膜光学与技术，机械工业出版社,1989 6. 李正中，薄膜光学与镀膜技术，艺轩图书出版社 , 2001 7. 林永昌，卢维强，光学薄膜原理，国防工业出版社 ,1990 8. 顾培夫，薄膜技术，浙江大学出版社，1990 9.H.K.Pulker, Coating on Glass, Elsevier ,1984 10. 严一心，林鸿海，薄膜技术，兵器工业出版社，1994; 主要膜系设计软件 1. Autofilm 2. TFC 3. Macleod 4. Optilayer;教学安排：;光学薄膜技术 Optical thin films and technology;第一章：薄膜光学特性计算基础 第一节 电磁波及其传播 第二节 单一界面的反射和透射率 第三节 单层介质薄膜的反射和透射 第四节 多层介质薄膜的特性计算 第五节 金属薄膜的光学特性