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氢氪酸气相蚀刻设备.pdfVIP

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  • 2023-02-03 发布于四川
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氢氪酸气相蚀刻设备.pdf

    本实用新型公开了氢氪酸气相蚀刻设备，具体涉及蚀刻技术领域，包括储液盒，所述储液盒内壁活动套有储液器；本实用新型的微型真空泵可通过隔热气管使多个吸盘内形成真空，使多个吸盘可对不同大小的晶片进行夹持与固定，当遇到一些较大的晶片后，第一电动伸缩杆和第二电动伸缩杆伸长会使四个压片压住晶片，对晶片进行物理夹持，在蚀刻时第一电动伸缩杆和第二电动伸缩杆会轮流进行缩短，使相应电动伸缩杆的压片离开晶片，从而既不会影响到对晶片的夹持，也不会使晶片部分区域被遮挡而无法受到氢氪酸的蚀刻，整体上还可通过物理夹持和吸盘固定

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212342582 U (45)授权公告日 2021.01.12 (21)申请号 202021811542.4 (22)申请日 2020.08.26 (73)专利权人 泰晶科技股份有限公司

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