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- 2023-02-07 发布于四川
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本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是指一种涂层机的机芯构造，其包括真空容器、离子发生机构和磁性弯管机构，离子发生机构安装于真空内腔并用于产生离子，磁性弯管机构包括基座、真空弯管件、电磁线圈、靶材液冷固定组件和引弧组件，电磁线圈绕设于真空弯管件的外壁，离子发生机构产生的离子轰击靶材，产生带电的溅射原子，带电的溅射原子的移动轨迹与真空弯管件的中心轴线重合设置或平行设置，带电的溅射原子通过真空弯管件进入真空内腔。本构造能够利用气体自动产生离子，带电的溅射原子能够沿弯曲路径溅射到真空内腔的工件的表
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212375368 U
(45)授权公告日 2021.01.19
(21)申请号 202021423102.1
(22)申请日 2020.07.17
(73)专利权人 广东鼎泰机器人科技有限公司
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