原创力文档- 3
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- 2023-02-10 发布于四川
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本实用新型公开了电子弹性反冲探测系统，包括真空室，还包括置于真空室中的电子枪、靶材料和探测器，所述电子枪和探测器均安装在靶材料上方；所述电子枪用于提供轰击靶材料的入射粒子束，所述电子枪提供的入射粒子束为低能量电子束；所述探测器用于接收入射粒子束轰击靶材料后产生的弹性反冲氢离子。本实用新型采用低能量电子束作为入射粒子束，在不损伤材料表面的同时对其氢同位素的测量分辨率达到纳米级；解决了现有探测技术分辨率较低的问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212433427 U
(45)授权公告日 2021.01.29
(21)申请号 202021329126.0
(22)申请日 2020.07.08
(73)专利权人 中国工程物理研究院流体物理研
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