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- 2023-02-10 发布于四川
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为了解决罗茨泵压缩气体后导致气体温度较高，压缩后的气体温度一般在50～80℃，而该级水环泵的工作温度要求40℃以下，一旦气体温度大于40℃，则会导致水环泵中的水发生蒸发，从而形成水蒸气而严重影响真空泵机组抽真空的效果的问题，本实用新型一种溅射镀膜增强型二次真空系统，罗茨真空泵2和滑阀真空泵3通过管道顺序连接与真空室1之间形成一条由泵体通向真空室1的抽真空气路，结构简单，使用方便，便于操作，在运作时稳定性能高，产生的震动小，需要低真空度的时候只需开启滑阀真空泵3进行抽真空处理，需要高真空度的时候需
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212426173 U
(45)授权公告日 2021.01.29
(21)申请号 202021071851.2
(22)申请日 2020.06.11
(73)专利权人 苏州锐世讯光学科技有限公司
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