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一种溅射镀膜抽真空防震系统.pdfVIP

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  • 2023-02-10 发布于四川
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一种溅射镀膜抽真空防震系统.pdf

    为了解决真空设备工作时，由于箱体内部空间很大，需要使用多个真空泵进行抽真空处理，多个真空泵通过管道连接的抽真空气路会产生强烈震动，导致真空泵连接的管道与真空泵之间松动而使得腔体抽真空需要花费时间的变长，生产效率低的问题，本实用新型提出一种溅射镀膜抽真空防震系统，通过在扩散泵和罗茨泵之间的管道上增设一个波纹补偿器，使得补偿管道的热位移，机械变形和吸收各种机械振动，起到降低管道变形应力和提高管道使用寿命的作用；通过在罗茨泵和旋片泵之间的管道外壁包裹一圈管道减震材料，有效的减少管道震动的频率，防止管道

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212426175 U (45)授权公告日 2021.01.29 (21)申请号 202021071861.6 (22)申请日 2020.06.11 (73)专利权人 苏州锐世讯光学科技有限公司

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