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本实用新型属于半导体设备领域，尤其涉及一种新型载片盘和镀膜装置，载片盘装载于镀膜装置上，用于放置晶片，包括载盘环和用于固定晶片的夹爪，所述夹爪周向分布在载盘环上，其特征在于：还包括镀膜遮盖机构，所述镀膜遮盖机构在镀膜时覆盖晶片和载盘环之间的空隙，防止镀膜材料穿过所述空隙覆盖于晶片的非镀膜面。本实用新型在现有的载盘环上增设镀膜遮盖机构，在镀膜时，通过旋转件的驱动将遮盖件由靠近载盘环一侧的位置水平移动至晶片与载盘环之间的空隙上方，从而覆盖空隙，防止镀膜材料穿过空隙镀至晶片的非镀膜面。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212451614 U
(45)授权公告日 2021.02.02
(21)申请号 202020489442.8
(22)申请日 2020.04.07
(73)专利权人 安徽三安光电有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
版权声明书
用户编号：8063122115000010
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