真空基本知识.pptx

11.1 真空知识真空状态下气体稀薄程度称为真空度，通常用压力值表示。 真空度和压强第1页/共41页第一页，共42页。 2单位帕/Pa托/Torr毫巴/mbar标准大气压1Pa17.5×10-3 1× 10-2 9.87× 10-6 1Torr133.311.3331.316 ×10-3 1mba1000.7519.87× 10-4 1atm1.013 × 1057601.013 ×103 1 真空（压强）单位压强越低，真空度越高；压强越高，真空度越低。国际单位：帕斯卡（Pascal） Pa常用单位：托（Torr） 毫米汞柱（mmHg） 巴（bar） 标准大气压（atm） 1.1 真空知识第2页/共41页第二页，共42页。 3粗真空: 1x105 ～ 1x102 Pa （粘滞流） 真空干燥、真空浸渍低真空: 1x102 ～ 1x10-1 Pa （分子流） 热处理、低压化学气相沉积 高真空: 1x10-1 ～ 1x10-6 Pa 溅射镀膜，真空蒸发镀膜超高真空 : 1x10-6 Pa 表面物理，表面分析，MBE? 真空的划分1.1 真空知识第3页/共41页第三页，共42页。 4? 稀薄气体的状态方程 在真空技术中所接触的是稀薄气体，这种稀薄气体在性质上与理想气体的差异很小。因此，在研究稀薄气体的性质时，可不加修正地直接应用理想气体的状态方程。1.2 稀薄气体基本性质理想气体状态方程：普适气体常量: R = 8.31J/mol K玻耳兹曼常量:k = 1.38×10-23 J/K第4页/共41页第四页，共42页。 5? 气体分子的速率分布气体分子运动论认为： 气体的大量分子每时每刻都处于无规则的热运动之中，气体分子之间以及气体分子与容器壁之间，发生着不断的碰撞过程，这种碰撞过程的结果之一是使气体分子的速度服从一定的统计分布。气体分子的运动速度υ服从麦克斯韦尔-玻耳兹曼（Maxwell-Boltzmann）分布。1.2 稀薄气体性质第5页/共41页第五页，共42页。 6? 三种统计速率1.2 稀薄气体性质1）最可几速率2）平均速率3）方均根速率速率与声速（340m/s）相比拟第6页/共41页第六页，共42页。 71.2 稀薄气体性质? 平均自由程 气体分子在连续两次碰撞之间的平均路程称分子的平均自由程。大气压下 P = 105 Pa，高真空下 P = 10-8 Pa，估算：常温下（300 K），空气分子直径约0.5 nmd 为气体分子的直径第7页/共41页第七页，共42页。 81.2 稀薄气体性质? 气体的入射频率（入射通量） 入射频率是真空及镀膜技术中常用到的一个物理量，是气体分子对于容器壁单位面积的碰撞频率，即单位时间内单位表面积受到气体分子碰撞的次数。用字母 J 来表示。赫兹-克努曾（Hertz-Knudsen）公式阿伏加得罗常数:NA = 6.02×1023 /mol第8页/共41页第八页，共42页。 91.2 稀薄气体性质例：作为赫兹-克努曾公式的一个应用，我们来计算一下在高真空环境中，清洁表面被环境中的杂质气体分子污染所需要的时间。求解： 假设每一个向清洁表面运动过来的气体分子都是杂质，并均被表面所俘获。则可以求出表面完全被一层杂质气体分子覆盖所需要的时间式中，N 为基板表面单位面积上能容纳的单分子层内的气体分子数。第9页/共41页第九页，共42页。 101.2 稀薄气体性质作为估算，我们选取估算：单位面积上单分子层的气体分子数目N。气体分子的尺寸在0.1－1 nm 之间，则一个分子覆盖的面积为0.01～1 nm2之间。则：大气压下 P = 105 Pa，高真空下 P = 10-8 Pa，第10页/共41页第十页，共42页。 111.2 稀薄气体性质? 余弦定律 碰撞于固体表面的分子它们飞离表面的方向与原入射方向无关，并按与表面法线方向所成角度的余弦进行分布。一个分子离开固体表面时，处于立体角 中的几率为：θ为出射方向与法线所成的角度余弦定律的重要意义：它揭示了固体表面对气体分子作用的另一个方面，即分子原有的方向性彻底“消除”，均按余弦定律散射。分子在固体表面上要停留一定的时间，这是气体分子能够与固体进行能量交换和动量交换的先决条件，这一点有重要意义。第11页/共41页第十一页，共42页。 121.2 稀薄气体性质? 真空度对薄膜质量的影响 平均自由程的影响薄膜技术中最常用的真空度为10-4Pa，自由程大约是40米。即使再差，10-3Pa，自由程大约是4米。而一般的膜基距为1