现代加工技术应用电子束离子束加工.pptVIP

* 电子束刻蚀图案 * 电子束加工END 电子束加工END Automatische Strahlpositionierung. Elektronenstrahl- Prozesskontrolle Ablenk- Verst?rker Verst?rker Bild- verarbeitung NC- Steuerung XY-Tisch Ablenk- steuerung Abtasten der Naht Positions- korrektur Stufe 1 Stufe 2 Abtasten der Naht und Positions- korrektur EB- Deflection Technics Elektronenstrahl- Technologien One Bath Technics Multi Pool Technics Dynamic Multi Pool Technics Non Focus Flash Technics Field Technics Line Scan Multi Bath Technics EB- Deflection Technics: Multi Process Technics Elektronenstrahl- Technologien EB-Hardening/ EB-Annealling EB-Pre-heating/ EB-Remelting EB-Pre-heating/ EB-Welding/ EB-Gladding EB-Positioning/ EB-Welding/ EB-After-heating 2-Kammerschleusenanlage zum EB- Schwei?en von Raumfahrtkomponenten. Elektronenstrahl- Anlagentechnik EB-Umschmelzen (EBU) von Nockenwellen. Elektronenstrahl- Umschmelzen (EBU) EB-Umgeschmolzene Nockenwellen EB-Umgeschmolzene Nocken mit Mehrbahntechnik EB- H?rten von Nockenwellen. Elektronenstrahl- H?rten Nocken GGG 60, Schliffbild Material: GGG 60 mod./cf 53 Ziel: H?rten der Lauffl?chen Rht: 0,5 mm H?rtewert: 50 HRC Taktzeit: 35 s bis 45 s EB-Anlage: 10 kW/60 kV * 7.2　离子束加工 一、离子束加工原理、分类和特点 二、离子束加工装置 三、离子束加工的应用 ?离子束加工8分02.mp4 * 在真空条件下，将离子源产生的离子束经过加速、聚焦后投射到工件表面。由于离子带正电荷，其质量数比电子大数千倍甚至上万倍，它撞击工件时具有很大撞击动能，通过微观的机械撞击作用从而实现对工件的加工。 离子束加工的物理基础是离子束射到材料表面时所发生的撞击效应、溅射效应和注入效应。 1.离子束加工的原理和物理基础 * 相同点：加工原理基本相同。 不同点：离子带正电荷，其质量比电子大数千倍乃至数万倍，故在电场中加速较慢，但一旦加至较高速度，就比电子束具有更大的撞击动能。 电子束加工是靠电能转化为热能进行加工的。 离子束加工是靠电能转化为动能进行加工的。 离子束加工与电子束加工的比较 * 2.离子束加工分类 按所利用的物理效应和达到目的的不同，可以分为四类，即利用离子撞击和溅射效应的离子刻蚀、离子溅射沉积和离子镀，以及利用注入效应的离子注入. * 采用能量为0.1～5keV、直径为十分之几纳米的的氩离子轰击工件表面时，此高能离子所传递的能量超过工件表面原子（或分子）间键合力时，材料表面的原子（或分子）被逐个溅射出来，以达到加工目的。 这种加工本质上属于一种原子尺度的切削