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机械系统方案设计 机械系统方案设计 机械系统方案设计 1.微电子机械系统的概念 微电子机械系统主要结构有微型传感器、制动器以及处理电路。 其是一种微电子电路与微机械制动器结合的尺寸微型的装置，其在电 路信息的指示下可以进行机械操作，并且还能够通过装置中的传感器 来获取外部的数据信息，将其进行转化处理放大，进而通过制动器来 实现各种机械操作。而微电子机械系统技术是以微电子机械系统的理 论、材料、工艺为研究对象的技术。微电子系统并不只是单纯的将传 统的机电产品微型化，其制作材料、工艺、原理、应用等各个方面都 突破了传统的技术限制，达到了一个微电子、微机械技术结合的全新 高度。微电子机械系统是一种全新的高新科学技术，其在航天、军事、 生物、医疗等领域都有着重要的作用。 1.2微电子机械系统技术的特点 1.2.1尺寸微型化 传统机械加工技术的最小单位一般是 cm，而微电子机械系统技 术下的机械加工往往最小单位已经涉及到了微米甚至纳米。这以尺寸 的巨大变化使得微电子机械系统技术下的原件具有微型化的特点， 携带方便，应用领域更加广阔。 1 / 4 1.2.2集成化 微电子机械系统技术下的原件实现了微型化为器件集成化提供 了有力的基础。微型化的器件在集成上具有无可比拟的优势，其能够 随意组合排列，组成更加复杂的系统。 1.2.3硅基材料 微电子机械系统技术下的器件都是使用硅为基加工原料。地面表 面有接近30%的硅，经济优势十分明显。硅的使用成本低廉这就使得 微电子机械系统技术的下的器件成本大大缩减。硅的密度、强度等于 铁相近，密度与铝相近，热传导率与钨相近。 1.2.4综合学科英语 微电子机械系统技术几乎涉及到所有学科，电子、物理、化学、 医学、农业等多个学科的顶尖科技成果都是微电子机械系统技术的基 础。众多学科的最新成果组合成了全新的系统和器件，创造了一个全 新的技术领域。 2微电子机械系统的技术类别 2.1体微机械加工技术 体微机械加工技术主要将单晶硅基片加工为微机械机构的工艺， 其最大的优势就是可以制作出尺寸较大的器件，最大的弊端是难以 制造出精细化的灵敏系统。并且使用体微加工工艺难以优化器件的平 面化布局，制作出来的器件难以与微电子线路直接兼容。体微机械加 工工艺一般在压力传感器和加速度传感器的制造中普遍应用。 2.2表面微机械加工技术 2 / 4 表面微机械加工技术就是通过集成电路中的平面化技术来实现 微机械装置的制造。其主要优势表现在充分利用了已有的IC工艺， 能够灵活掌握机械器件的尺寸，因此表面为微机械加工技术与IC之 间是兼容的。表面微机械加工技术与集成电路的良好兼容性使得其在 应用领域实现了快速普及。 2.3复合微机械加工技术 复合微机械加工技术就是体微机械技工技术与表面微机械加工 技术的结合，其结合了两者的优点，但又同时避免了相应缺点。 3微电子机械技术的应用 3.1环境科学领域 微电子机械系统技术下的微型设备可以在环境监测和数据处理 分析上发挥巨大的作用。由化学传感器、生物传感器以及数据处理系 统所集合的测量与处理设备。该微型装置可以用来监测空气和液体的 成分，其独特优势在于尺寸微小，便于携带。 3.2军事领域 纳米器件所构成的装置先要对半导体器件运行速度高，携带方便， 信息输出和处理快捷，在军事领域其能够用来制作各种微型设备，例 如“蚊子导弹”、“麻雀卫星”等。 3.3医疗领域 在临床化验分析、介入治疗领域其也能够实现巨大的价值。近几 年获得发展的介入治疗技术与传统治疗技术相比临床治疗效果优越， 能够有效缓解患者痛苦。但是当前介入治疗仪器价格高，体积巨大， 3 / 4 准确性难以保证，尤其是在治疗重要器官时风险较大。微电子机械系 统技术的微型与智能特性可以显著降低介入治疗的风险。 4 / 4