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本实用新型公开了一种MEMS麦克风，通过将封装壳体直接固定在柔性基板上以形成收容空间，在封装壳体与柔性基板形成的收容空间中，MEMS芯片和ASIC芯片分别固定在柔性基板上，并实现了MEMS芯片、ASIC芯片与柔性基板的电性连接，所述柔性基板设置至少环绕所述MEMS芯片的位于所述收容空间内的缓冲部。所述缓冲部形成的柔性连接会释放部分外部动能，并扩大收容空间的体积，以减缓收容空间气压上升的速度，从而减少对MEMS芯片中设置的振膜和背板等结构的冲击，提高了MEMS芯片在大气流、跌落、振动等极端环境下的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212588513 U
(45)授权公告日 2021.02.23
(21)申请号 202020961621.7
(22)申请日 2020.05.29
(73)专利权人 瑞声科技（南京）有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
版权声明书
用户编号：8063122115000010
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