MEMS交叉线及微波器件.pdfVIP

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2023-02-16 发布于四川
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MEMS交叉线及微波器件.pdf

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本实用新型提供了一种MEMS交叉线及微波器件，属于无线通信技术领域，包括第一传输线结构、第二传输线结构和MEMS桥；第二传输线结构与第一传输线结构通过互连层相连实现接地，第二传输线结构的信号传输方向与第一传输线结构的信号传输方向交叉设置；MEMS桥设置于第一传输线结构和第二传输线结构之间，用于第一传输线结构和第二传输线结构之间的信号隔离。本实用新型提供的MEMS交叉线，由于MEMS桥不参与信号传输，仅仅具有隔离功能，能够有效降低MEMS桥的制作成本，进而降低器件的制作成本，提高不同信号之间的隔离

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212609550 U (45)授权公告日 2021.02.26 (21)申请号 202020569567.1 (22)申请日 2020.04.16 (73)专利权人中