原创力文档- 6
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- 2023-02-17 发布于四川
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本实用新型公开了一种晶圆贴膜装置，其可实现晶圆方向自动调整，便于后续加工工序进行，同时可实现自动贴膜，省时省力，可提高生产效率，其包括贴膜台、切膜机构、拉膜机构、压模机构，贴膜台的中部设置有用于放置晶圆的可旋转的转盘，切膜机构包括用于膜切割的切刀，拉膜机构包括新膜滚轮、废膜滚轮、支撑滚轮，膜的两端分别卷绕于新膜滚轮、废膜滚轮，膜的中部在支撑滚轮支撑作用下沿晶圆的顶端传动，压模机构包括压模滚轮，压模滚轮用于将膜贴装于晶圆的背面，其还包括定位装置、转盘驱动装置、控制器，定位装置包括与转盘对应的图像采
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212648193 U
(45)授权公告日 2021.03.02
(21)申请号 202021734797.5
(22)申请日 2020.08.18
(73)专利权人 无锡电基集成科技有限公司
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