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一种亚微米级运动平台.pdfVIP

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  • 2023-02-17 发布于四川
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一种亚微米级运动平台.pdf

    本实用新型涉及电机驱动技术领域，尤其指一种亚微米级运动平台，包括直线电机、气浮导轨、滑块、光栅尺、花岗岩底板、X向底板、Y向底板、Z向支架和驱动控制器；所述直线电机包括X向直线电机、Y向直线电机和Z向直线电机；所述气浮导轨包括X向气浮导轨、Y向气浮导轨和Z向气浮导轨。本实用新型采用直线电机、气浮导轨和滑块的结构设计，极大的提高了运动平台的稳定性性和运动控制精度；将X向底板、Y向底板分别设置在X向气浮导轨和Y向气浮导轨之间，进一步提高了X向底板和Y向底板的运动稳定性；X向直线电机、Y向直线电机和Z

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212649343 U (45)授权公告日 2021.03.02 (21)申请号 202021669836.8 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (22)申请日 2020

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