一种蚀刻机料盒自动转移机构.pdfVIP

下载本文档

3
0
约1.35万字
约 12页
2023-02-18 发布于四川
举报
版权申诉

一种蚀刻机料盒自动转移机构.pdf

1、本文档共12页，其中可免费阅读6页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本申请公开了一种蚀刻机料盒自动转移机构，包括取盒单元、传送单元和放盒单元，所述取盒单元设置于靠近蚀刻机上料端的区域，被配置为从蚀刻机的上料端拾取空料盒，并将拾取的空料盒放至所述传送单元；所述传送单元被配置为传送来自所述取盒单元的空料盒至所述放盒单元；所述放盒单元设置于靠近蚀刻机下料端的区域，被配置为将所述传送单元传送过来的空料盒拾取至蚀刻机的下料端。本申请的蚀刻机料盒自动转移机构能够对上完物料后的空料盒进行自动转运，可以避免人为出错，有利于降低劳动强度，使得料盒转运效率提高、成本降低，提高了蚀刻

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212668489 U (45)授权公告日 2021.03.09 (21)申请号 202021112423.X (22)申请日 2020.06.16 (73)专利权人南通通富微电子有限公司