剪切散斑干涉技术及其应用.docVIP

剪切散斑干涉技术及其应用 摘 要：随着现代科学技术的发展，对非接触测量物体表面形态，以及测量灵敏度和精度都提出了较高的要求，剪切散斑干涉技术可以用于测量物体的空间位移，且具有分辨率高，精度高，灵敏度高和非接触的优点，在应变测量，无损检测等方面有着广泛的应用，目前，已出现多种类型的剪切散斑干涉系统。其中，迈克尔逊型的剪切散斑干涉系统应用最为广泛，迈克尔逊剪切散斑干涉系统具有剪切量和剪切方向易调节，相移技术易实现等优点。由于传统的迈克尔逊剪切散斑干涉系统具有视场小的缺陷，为了解决此缺陷，介绍了基于4f的迈克尔逊剪切散斑干涉系统在测量表面缺陷以及内部缺陷的应用，解决了原剪切散斑干涉系统视场角小的问