一种单晶炉快速冷却装置.pdfVIP

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2023-02-20 发布于四川
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一种单晶炉快速冷却装置.pdf

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本实用新型公开了一种单晶炉快速冷却装置，包括炉体外壳、旋转盘和密封炉盖，所述炉体外壳的正上方连接有进液管道，且炉体外壳的底部连接有出液管道，所述炉体外壳的正下方设置有支撑底座，且支撑底座的正下方连接有驱动电机，所述旋转盘连接在驱动电机的输出端，且旋转盘的外侧连接有丝杆，所述丝杆的外侧贯穿设置有滑轨，且滑轨的一侧设置有支撑杆，所述支撑杆的一侧连接有输氧连接块，所述密封炉盖设置在炉体外壳的外侧，且炉体外壳的内部安装有坩埚，所述坩埚的内壁安装有电加热器。该单晶炉快速冷却装置，采用丝杆及内螺纹块，通过丝

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212713832 U (45)授权公告日 2021.03.16 (21)申请号 201921839866.6 (22)申请日 2019.10.30 (73)专利权人弘元新材料（包头）有限公司