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- 2023-02-20 发布于四川
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本实用新型涉及工业领域,尤其涉及涂胶显影设备专用恒温恒湿设备。涂胶显影设备进行热交换完成的升温纯水通过管道连接集合水箱(5),集合水箱(5)连接热交换器(4),厂务端工业纯水进入端(1)也连接热交换器(4),涂胶显影设备进行热交换完成的升温纯水与厂务端工业纯水进入端(1)来的低温工业纯水在热交换器(4)中能够进行热交换,热交换完成后的目标控制纯水能够从厂务端工业纯水出水端(2)流出,流出后能够通过管道流动到加热水箱(6),该连接加热水箱(6)的管道上包含温度传感器(3)。1.缩短热交换完成后升温
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212720078 U
(45)授权公告日 2021.03.16
(21)申请号 202021227809.5
(22)申请日 2020.06.29
(73)专利权人 西安稳能微电子科技有限公司
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