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关于空气湿度的性质及测量研究 一、研究空气湿度的意义 空气湿度在博物馆文物保护、半导体生产、生物研究等领域不可忽视的作用。例如半导体生产过程中使用涂胶显影机对晶圆进行涂胶，需要严格控制涂胶槽内的湿度，涂布腔内湿度变化会使涂胶材料的机理发生变化，同时，空气水分子与涂胶材料混合，会影响其涂布后的挥发速度，从而影响涂层的最终成膜厚度和均一性，对现有的工艺带来负面影响，造成产品的缺陷[1]。环境湿度对文物的影响也不可忽视，不同类型文物（青铜器、银器、丝绸类、书画类等）存放的环境湿度要求不同，环境湿度不符合文物保护的要求，可能会造成无法挽回的后果[2]。所以，研究空气湿度，理解和掌握空气湿度的性质，对文