一种旋转阴极的连接及密封装置.pdfVIP

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  • 2023-02-21 发布于四川
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本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域,且公开了一种旋转阴极的连接及密封装置,包括底座,所述底座内部的左右两侧壁之间活动连接有旋转阴极。该旋转阴极的连接及密封装置,通过支撑板使得旋转阴极在转动时能够将震动传递给支撑杆,这个过程中稳定弹簧受力压缩进行缓冲,且震动通过支撑杆传递给固定架、活动杆以及转动块,这个过程中连接弹簧压缩,进一步缓冲,且转动块受到震动的作用以固定轴为圆心转动,从而将震动的动能进行释放,通过转动蜗杆使得螺纹丝杆在蜗轮的带动下转动,此时左右两个移动块在螺纹丝杆的作用下向着相反的方向或相

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212741509 U (45)授权公告日 2021.03.19 (21)申请号 202021339026.6 (22)申请日 2020.07.09 (73)专利权人 成都致清环保科技有限公司

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