原创力文档- 3
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- 2023-02-21 发布于四川
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本实用新型提供了一种真空镀膜机腔体，属于真空镀膜机领域。该真空镀膜机腔体，包括腔体、冷却组件和散热组件。所述冷却管设置在所述中空槽内，所述泵体的抽水端设置在所述水箱内。所述散热翅片固定在所述水箱表面，所述半导体制冷片的制热面与所述散热翅片贴合；水箱内的冷却水通过泵体输入冷却管，并通过冷却管的另一端排回水箱内，使之将腔体产生的热量带入水箱内，增设的半导体制冷片对水箱内的冷却液进行降温，半导体制冷片的制热面通过散热翅片对外界进行热量的扩散，通过增设的中空槽进行水冷散热，使得腔体各个部位温度均匀，实现
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212741505 U
(45)授权公告日 2021.03.19
(21)申请号 202021221051.4
(22)申请日 2020.06.28
(73)专利权人 上海畅桥真空系统制造有限公司
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