PVD镀膜离子镀膜技术和设备常见问题解答讲解.docx

PVD 镀膜( 离子镀膜 技术和设备常见问题解答PVD 镀膜( 离子镀膜 技术和设备常见问题解答Q1:请问什么是 PVD? A1:PVD 是英文 Physical Vapor Deposition 的缩写,中文意思是“物理气相沉积”, 是指在真空条件下,用物理的方法使材料沉积在被镀工件上的薄膜制备技术。 Q2:请问什么是 PVD 镀膜?什么是 PVD 镀膜机? A2:PVD(物理气相沉积技术主要分为三类,真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜。相对于 PVD 技术的三个分类,相应的真空镀膜设备也就有真空蒸发镀膜机、真空溅射镀膜机和真空离子镀膜机。 近十多年来,真空离子镀技术的进展是最快的,