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研磨垫中心校准治具.pdfVIP

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  • 2023-02-21 发布于四川
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研磨垫中心校准治具.pdf

    本实用新型提供一种研磨垫中心校准治具，包括主支架以及夹爪，主支架具有支架中心以及从支架中心向外延伸的多个支架段，每个支架段的延伸线上可拆卸地设置有一个夹爪，每个夹爪均包括在远离主支架的端部设置的侧板以及位于侧板里侧的第一挡块和第二挡块，第一挡块和第二挡块的里侧顶点分别位于两个圆周线上，各个第一挡块对应的圆周线平面低于支架中心且高于各个第二挡块对应的圆周线平面，两个圆周线的中心轴重合。在粘贴研磨垫过程中，通过检测研磨垫的侧面是否与各个第一挡块接触，并检测研磨盘的侧面是否与各个第二挡块接触，以进行中

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212735564 U (45)授权公告日 2021.03.19 (21)申请号 202021581370.6 (22)申请日 2020.08.03 (73)专利权人 合肥晶合集成电路股份有限公司

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