1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种硅片校正机构.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约1.07万字
  • 约 11页
  • 2023-02-23 发布于北京
  • 举报

一种硅片校正机构.pdf

    本实用新型涉及一种硅片校正机构，包括：底座；两个推片件，均可滑动地设在所述底座上，两个所述推片件相对设置；转动组件，设在所述底座上；两个连接件，与两个所述推片件相对应，所述连接件连接在所述转动件与所对应的所述推片件之间；所述转动件转动时，通过两个所述连接件带动两个所述推片件相互靠近或相互远离，两个所述推片件用于在相互靠近时对硅片夹持校正。采用转动组件和连接件的连接，使得转动组件转动时，可以驱动两个推片件同时运动，节约了校正机构的成本。同时转动组件与连接件刚性连接可以减小运动误差，提升校正精度。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212810264 U (45)授权公告日 2021.03.26 (21)申请号 202021252090.0 (22)申请日 2020.07.01 (73)专利权人 苏州迈为科技股份有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >