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硅片校正机构.pdfVIP

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  • 2023-02-23 发布于北京
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硅片校正机构.pdf

    本实用新型涉及一种硅片校正机构，包括：底座；转动组件，设在所述底座上；四个推片件，均可滑动的设在所述底座上，所述四个推片件两两对应设置，且各所述推片件的滑动方向均朝向所述转动组件的轴心；四个连接件，分别与四个所述推片件对应，所述连接件连接在所述转动组件与所对应的推片件之间；所述转动件转动时，通过各所述连接件带动四个所述推片件以所述转动组件的轴心为中心聚拢，或以所述转动组件的轴心为中心发散，四个所述推片件用于在聚拢时对硅片夹持校正。上述一个驱动件可以同时驱动四个推片件同时运动，节约了校正机构的成本

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212810265 U (45)授权公告日 2021.03.26 (21)申请号 202021255588.2 (22)申请日 2020.07.01 (73)专利权人 苏州迈为科技股份有限公司

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