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- 2023-02-27 发布于北京
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本实用新型提供了一种硅片寿命测试系统。硅片寿命测试系统包括基座；支架，固定在所述基座上；硅片寿命测试组件，连接在所述支架上，用于测定硅片的寿命；数控组件，与所述硅片寿命测试组件控制连接；还包括硅片承载组件和显示成像组件，所述硅片承载组件连接在所述基座上，用于承载所述硅片，且可带动所述硅片在水平面上沿X轴和/或Y轴方向移动；所述显示成像组件连接在所述支架上，用于对进行硅片寿命测试位置处的硅片位置进行成像显示。本实用新型的硅片寿命测试系统可方便快捷的完成硅片寿命的测试，且测试结果准确。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212989559 U
(45)授权公告日 2021.04.16
(21)申请号 202021949367.5
(22)申请日 2020.09.08
(73)专利权人 嘉
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