原创力文档- 1
- 0
- 约1.03万字
- 约 11页
- 2023-02-27 发布于北京
- 举报
本实用新型公开了一种高速自动半导体等离子清洗设备，包括机架和设置于所述机架上的三轴龙门机构、等离子清洗头、输送机构、自动上料机构、自动下料机构、识别机构、废气处理系统，所述输送机构横向设置于所述机架上，所述三轴龙门机构横跨于所述输送机构的上方，所述等离子清洗头设置于所述三轴龙门机构的工作端，所述自动上料机构、自动下料机构、输送机构均至少为两组，两组以上的自动上料机构、自动下料机构、输送机构在所述机架上横向平行设置；本实用新型完成产品的自动上下料，通过输送机构精确传送，使等离子清洗头快速定位到需要
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212991034 U
(45)授权公告日 2021.04.16
(21)申请号 202022006335.8
(22)申请日 2020.09.15
(73)专利权人 深圳市轴心自控技术有限公司
您可能关注的文档
- 燃烧器.pdf
- 一种磁环绕线用理线组件.pdf
- 抛光机用木材送料机构.pdf
- 液晶显示器.pdf
- 时钟电子秤.pdf
- 一种网络解决方案攻击防御可靠性测试系统.pdf
- 一种新型变压器生产用整压设备.pdf
- 一种用于教学的扫描隧道显微镜展示台.pdf
- 一种纳米晶带材的热处理装置.pdf
- 一种适用于高温测井的光纤陀螺连续测斜仪.pdf
- 屋面 甘06J2.甘肃省标图集.docx
- 鲁L07J109 外墙外保温构造详图(二)挤塑聚苯板保温系统(1)山东省标图集.docx
- 闽97J09 楼地面福建省标图集.docx
- 闽98J04 楼梯栏杆福建省标图集.docx
- 皖2016J126 外墙外保温系统（十三）膨胀珍珠岩保温板安徽省标图集.docx
- 辽92J201 屋面构造辽宁省标图集.docx
- 皖2008J213 KS系列防水材料建筑防水构造图集安徽省标图集.docx
- 辽92J801 住宅厨房卫生间及配件辽宁省标图集.docx
- 皖2005J314 建筑做法说明安徽省标图集.docx
- 皖2005J314建筑做法说明 皖2005J314安徽省标图集.docx
文档评论（0）