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本实用新型涉及半导体生产技术领域，公开了一种半导体生产用静电消除装置，包括底座，气箱的底部开设槽口的内壁顶部和导电橡胶垫的顶部固定连接，气箱的顶部左侧开设孔洞和波纹管的底部连通，波纹管的顶部和导气管的底部端口连通，导气管的左侧端口和气泵的右侧端口固定连接。本实用新型通过升降导电橡胶垫和半导体芯片接触将半导体芯片上的静电电荷转移接地消除，达到快速消除半导体芯片上的静电的作用，在导电橡胶垫和半导体芯片分离时，通过导电橡胶垫底部槽口吹出的气体帮助导电橡胶垫和半导体芯片脱离的同时帮助清除半导体芯片顶部的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212967626 U
(45)授权公告日 2021.04.13
(21)申请号 202022360677.X
(22)申请日 2020.10.21
(73)专利权人 重庆理工光博科技有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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