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- 2023-02-27 发布于北京
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本实用新型公开了一种用于金属坩埚的真空密封设备,包括金属坩埚、支撑架、石英管、石英管真空装置、真空泵和激光器;石英管真空装置连接有用于带动其转动的电机,石英管真空装置与支撑架转动连接;该真空密封设备通过将金属坩埚放置在石英管内,通过控制石英管内为真空状态从而为金属坩埚焊接提供真空环境,并利用石英管对激光的高透性,对内置金属坩埚采用激光器进行加热焊接,实现金属坩埚的真空熔封;同时通过石英管真空装置和电机的配合,实现金属坩埚的旋转,可以保证焊接的均匀性;本实用新型提供的真空密封设备可适用于钨坩埚、钼
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218523935 U
(45)授权公告日 2023.02.24
(21)申请号 202222568853.8
(22)申请日 2022.09.27
(73)专利权人 合肥执如光电科技有限公司
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