一种新型的用于光刻涂胶的胶杯.pdfVIP

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2023-02-28 发布于四川
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一种新型的用于光刻涂胶的胶杯.pdf

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本实用新型公开了一种新型的用于光刻涂胶的胶杯，涉及半导体技术领域，包括外罩、内罩、以及用于固定外罩、内罩的底座；外罩、内罩和底座中部共同形成一涂胶空间；外罩的外罩壁与内罩的内罩壁之间形成一隔层空间，底座内部开设有一液流通道，涂胶空间产生的胶液可通过隔层空间进入液流通道；液流通道为倾斜设置，液流通道的最低点A处开设有一用于胶液汇聚并排出的出液孔；本实用新型能够使胶杯内部的胶液通过位于最低点A处的出液孔排出，通过不同的倾斜角度、倾斜方式的设置，对胶液在液流通道内的流动起到进一步汇聚的作用，不会出现堆

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213023932 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202021605315.6 (22)申请日 2020.08.05 (73)专利权人宁波润华全芯微电子设备有限公