光外差探测系统.pptVIP

1、干涉测量技术 应用光的干涉效应进行测量的方法称为干涉测量技术。 干涉测量系统主要由光源、干涉系统、信号接收系统和信号处理系统组成。 优点：测量精度高（以波长为单位） 6.4 光外差探测系统举例 第三十页，共四十八页，2022年，8月28日 干涉测量基本原理：改变干涉仪中传输光的光程而引起对光的相位调制，从而表现为光强的调制。测量干涉条纹的变化即可得到被测参量的信息。 干涉条纹是由于干涉场上光程差相同的场点的轨迹形成。 可进行长度、角度、平面度、折射率、气体或液体含量、光学元件面形、光学系统像差、光学材料内部缺陷等几何量和物理量的测量。 第三十一页，共四十八页，2022年，8月28日 1） 激光干涉测长的基本原理 系统组成： (a)激光光源 (b)干涉系统 (c)光电显微镜 (d)干涉信号处理部分 位移 第三十二页，共四十八页，2022年，8月28日 2）激光干涉测长仪的光路设置 1.激光器 2.透镜 3.小孔光阑 4.透镜 5.反射镜 6.反射棱镜 7.位相板8.角锥反射棱镜9．分束镜10.角锥反射棱镜 11.透镜 12. 光阑 13.光电探测器 14. 透镜 15.光阑 16.光电探测器 第三十三页，共四十八页，2022年，8月28日 干涉光路的设置 第三十四页，共四十八页，2022年，8月28日 光外差探测系统 第一页，共四十八页，2022年，8月28日 6.1 光