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一种激光晶圆切割用晶圆片的贴膜装置.pdfVIP

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  • 2023-03-02 发布于四川
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一种激光晶圆切割用晶圆片的贴膜装置.pdf

    本实用新型公开了一种激光晶圆切割用晶圆片的贴膜装置，包括双轴电机、底座和机盖，所述双轴电机的左右两端设置电机转轴，电机转轴上设置同步带，同步带的右端与卷膜辊筒的辊筒转轴连接，所述底座设置在辊筒凹槽右侧，底座的左侧设置固定轴，底座顶面设置晶圆片固定槽，所述机盖设置在底座上方，机盖底部设置刀片。该激光晶圆切割用晶圆片的贴膜装置，结构设置合理，通过双轴电机带动卷膜辊筒拉动贴膜辊筒上的膜，将膜覆盖在晶圆片上后闭合机盖通过驱动电机带动刀片将膜切割成圆形覆盖在晶圆片上，此过程不仅提高了产能、效率、膜贴合平整

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213056367 U (45)授权公告日 2021.04.27 (21)申请号 202021861113.8 (22)申请日 2020.08.31 (73)专利权人 河南通用智能装备有限公司

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