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电磁式MEMS扭转微镜.pdfVIP

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  • 2023-03-04 发布于四川
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电磁式MEMS扭转微镜.pdf

    本实用新型涉及一种电磁式MEMS扭转微镜，其包括基板、支撑结构和线圈；基板上设置有微镜镜面，所述基板设置在所述支撑结构上，所述支撑结构支撑所述微镜镜面，所述线圈设置在电路板上，所述电路板与所述线圈连接，为所述线圈通电；所述支撑结构包括扭梁和支撑柱，所述支撑柱为圆柱体，其设置在所述电路板上，所述支撑柱的上端与所述扭梁的一端连接，所述扭梁设置有两个，对称设置在所述基板的侧面，所述基板悬挂在所述扭梁的另一端上。扭梁连接有基板，扭梁在外部洛仑兹力的作用下，发生轻微扭动时带动微镜进行角度的偏移，从而带动微

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213182193 U (45)授权公告日 2021.05.11 (21)申请号 202021712362.0 (22)申请日 2020.08.17 (73)专利权人 东莞理工学院 地址

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